Silicon Photonics Aufbau (SiPho)
Silicon Photonics Aufbau von Formfactor (Foto Jakob Hinum-Wagner)
Der autonome Silizium-Photonik-Aufbau von FormFactor bietet die Möglichkeit der Analyse von optischen Strukturen auf Wafern, in dem das Licht von Lichtleitfasern vertikal in die Struktur ein- und ausgekoppelt wird.
Durch die automatisierte Einkoppeltechnik können ganze Wafer in kürzester Zeit vermessen werden. Es können Laser unterschiedlicher Wellenlänge oder durchstimmbare eingesetzt werden. Der Standardlaser arbeitet bei 850 nm. Als Detektor wir ein Powermeter verwendet. Mit diesem Setup können z.B. Resonanzen von Interferometern oder Verluste in Waveguides ausgemessen werden.
Die SiPho-Einheit wird auf dem Waferprober montiert.
Spezifikation
- automatisiertes Einkopplen mittels Nanocube (Piezo - gesteuert) und Hexapods.
- genaue Höheneinstellung der Fasern über dem Wafer mit kalibrierten Cap-Sensoren
- durchstimmbarer Laser im Bereich 850 nm oder auch Laser im sichtbaren Bereich sind vorhanden
- Python - Skripts zur automatisierten Steuerung der Messungen
- Wafermap zur Festlegung der zumessenden Dies