Waferprober
Formfactor SUMMIT 200
Kombinierbar mit dem VNA-145 GHz von Anritsu und dem Silicon Photonics Aufbau (SiPho).
Besondere Eigenschaften
- System optimiert für Nicht-Silizium-Substrate bis zu 150 GHz
- Ermöglicht > 100 cm Abstand zwischen den Sonden
- Mikroskopbewegung > 100 cm (in x-Richtung)
- Kundenspezifisch entwickelte 150-GHz-Tastköpfe, optimiert für nicht-planare Substrate
- Einzigartige Integration der Anristu 150 GHz mm-waveheads
Spezifikationen
- Halbautomatisches Abtastsystem, 200-mm-Wafertisch
- Motorisiertes Mikroskop
- Drei auxiliary chucks
- Ein auxiliary chucks aus Absorbermaterial
- Vier HF-Positionierer
- Digitales Bildgebungssystem eVue IV bietet zwei optische Pfade und zwei Kamerasysteme mit unterschiedlicher Vergrößerung für jeden Pfad.
- Unterstützt Wafer Mapping, Skripting sowie flexiblen Fernsteuerungsbetrieb